東莞激光切割加工過程中想要確保加工質量必須保證激光焦點和切割對象之間合理的相對位置，在實際加工過程中如果被加工工件表面凹凸不平、工件在加工過程中熱變形、機床在負載力下產生變形，以及機床本身的幾何誤差等都易出現偏差。有些偏差可以通過定量補償方法進行補償，例如機床產生的幾何誤差，因為它具有一定規律性。而有些誤差是隨機的，想要消除只能通過電感位移傳感器和電容傳感器在線檢測和控制，例如：工件幾何誤差、工件裝夾裝置產生的誤差以及編程產生的誤差。

　東莞激光切割加工板材或者覆蓋件型零件時，受各種因素的影響，加工件表面會起伏不平，并且在東莞激光切割加工過程中會因為熱效應的影響使其表面受熱變形，覆蓋件型零件在壓制成型過程中表面也會出現不平，從而使得產生的焦點位置出現誤差。

　有些加工工件需要放置在針狀工作臺上加工，而針床會因為長時間與工件之間產生磨損，長時間受激光燒傷而出現凹凸不平，當工件加工時會因為凹凸不平產生薄鋼板和激光焦點之間位置出現隨機的誤差。

　對工件進行東莞激光切割加工過程中，有些曲面加工比較復雜，復雜曲面加工時加工軌跡是通過直線、圓弧等擬合的，擬合曲線和實際曲線會存在一定的誤差，這些誤差會使得加工實際焦點位置和理想位置出現一定的偏差。除此，有些加入的示教編程系統也會帶有一些偏差。